W系列微型XRF 使用多毛細(xì)管光學(xué)器件將X射線束聚焦到7.5 μm FWHM,這是使用XRF技術(shù)進(jìn)行涂層厚度分析的世界最小的光束尺寸。
使用140倍放大倍率相機(jī)來(lái)測(cè)量該比例的特征; 它配有輔助的低倍率輔助相機(jī),用于實(shí)時(shí)查看樣本和鳥(niǎo)瞰宏觀圖像。
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W系列微型XRF 使用多毛細(xì)管光學(xué)器件將X射線束聚焦到7.5 μm FWHM,這是使用XRF技術(shù)進(jìn)行涂層厚度分析的世界最小的光束尺寸。 這使其非常適合測(cè)量樣品,例如BGA和較小的焊料凸點(diǎn)。 使用140倍放大倍率相機(jī)來(lái)測(cè)量該比例的特征; 它配有輔助的低倍率輔助相機(jī),用于實(shí)時(shí)查看樣本和鳥(niǎo)瞰宏觀圖像。 Bowman的雙攝像頭系統(tǒng)使操作員可以看到整個(gè)零件,單擊圖像以使用高磁攝像頭進(jìn)行縮放,然后精確定位要編程和測(cè)量的功能。
每個(gè)軸精確到小于+/-1μm的可編程XY平臺(tái)用于選擇和測(cè)量多個(gè)點(diǎn); Bowman模式識(shí)別軟件和自動(dòng)對(duì)焦功能也可以自動(dòng)執(zhí)行此操作。 系統(tǒng)的3D映射功能可用于查看諸如硅晶片的部件上的涂層的形貌。
W系列儀器的標(biāo)準(zhǔn)配置包括7.5μm鉬靶光學(xué)結(jié)構(gòu)(可選鉻和鎢)和高分辨率、大窗口硅漂移探測(cè)器,該探測(cè)器每秒可處理超過(guò)2百萬(wàn)次計(jì)數(shù)。
W 系列微型 XRF 是 Bowman XRF 儀器套件中的第 7 個(gè)型號(hào)。 與產(chǎn)品組合中的其他產(chǎn)品一樣,它同時(shí)測(cè)量多達(dá) 5 個(gè)涂層并運(yùn)行先進(jìn)的 Archer 軟件以根據(jù)檢測(cè)到的光子量化涂層厚度。 Archer 軟件將直觀的視覺(jué)控制與省時(shí)的快捷方式、廣泛的搜索功能和“一鍵式”報(bào)告相結(jié)合。 該軟件還簡(jiǎn)化了用戶創(chuàng)建新應(yīng)用程序的過(guò)程。
X射線管: |
50 W Mo 目標(biāo) Flex-Beam 毛細(xì)管光學(xué)器件 @7.5 FWHM 在 17 KeV 可選:Cr或W |
探測(cè)器: | 優(yōu)于135eV分辨率的大窗口硅漂移探測(cè)器 |
輸出焦深: | 固定為0.08英寸(2.03毫米) |
工作環(huán)境: | 溫度介于68°F(20°C)與77°F(25°C)之間,相對(duì)濕度小于98%,無(wú)冷凝 |
重量: | 190kg(420lbs) |
可編程XYZ平臺(tái): |
XYZ行程:300毫米(11.8英寸)x 400毫米(15.7英寸)x 100毫米(3.9英寸) XY桌面:305mm(12“)x 406mm(16”) X軸準(zhǔn)確度:2.5um(100u“); X軸精確度:1um(40u“) Y軸準(zhǔn)確度:3um(120u“); Y軸精確度:1um(40u“) Z軸準(zhǔn)確度:1.25um(50u“); Z軸精確度:1um(40u“) |
元素測(cè)量范圍: | 13號(hào)鋁元素到92號(hào)鈾元素 |
分析能力: |
5層(4層+基材)每層分析10種元素, 成分分析最多可同時(shí)分析25種元素 |
濾波器: | 4位置一次濾波器 |
數(shù)字脈沖處理: | 4096 多通道數(shù)字處理器,自動(dòng)死時(shí)間和逃逸峰校正 |
處理器: |
英特爾,酷睿i5 3470處理器(3.2GHz),8GB DDR3內(nèi)存, 微軟 Windows 10專業(yè)版,64位 |
相機(jī): | 1/4''(6mm)CMOS-1280×720 VGA分辨率 |
視頻放大倍率: | 140X 微型、7X 數(shù)字變焦、9X 微距和表格視圖 |
電源: | 150W,100?240V; 頻率范圍為47Hz到63Hz |
尺寸(高 x 寬 x 深): |
樣品倉(cāng)尺寸:100mm(4“)x 914mm(36”)x 735mm(29“) 外形尺寸:787mm(31“)x 940mm(37”)x 990mm(39“) |
其他新特征: |
Z軸防撞陣列 自動(dòng)聚焦和自動(dòng)鐳射 模式識(shí)別 先進(jìn)的自定義數(shù)據(jù)調(diào)用 |
W系列Micro XRF適用于:
-需要檢測(cè)晶圓,引線框架,PCB
-需要快速測(cè)量多個(gè)樣品的多個(gè)點(diǎn)
-期望在多個(gè)樣品上實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量
-需要符合IPC-4552、4553、4554、4556
-ASTM B568及ISO 3497
-希望升級(jí)舊的XRF性能及效率